半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)對材料的要求非常嚴(yán)苛,特別是在液體輸送系統(tǒng)方面,需要材料具備較高的耐腐蝕性、耐高溫性和純度。PFA管作為一種高性能的氟塑料,憑借其卓越的化學(xué)穩(wěn)定性和電氣性能,成為半導(dǎo)體液體輸送系統(tǒng)的理想選擇。
半導(dǎo)體制造對超純化學(xué)品(UPW, UHP Chemicals) 和工藝環(huán)境的純凈度要求達(dá)到ppb甚至ppt級別,任何微小污染都可能導(dǎo)致芯片良率下降。
PFA高純管是以下工藝環(huán)節(jié)的優(yōu)先選擇:
超純化學(xué)品輸送:
蝕刻液: 輸送氫氟酸、硫酸、硝酸、磷酸、緩沖氧化物蝕刻液等強(qiáng)腐蝕性液體。
清洗液: 輸送SC1、SC2、RCA清洗液、硫酸/過氧化氫混合物、臭氧水等。
光刻膠相關(guān)化學(xué)品: 顯影液、剝離液、稀釋劑等。
CMP漿料: 輸送化學(xué)機(jī)械研磨使用的研磨液。
高純?nèi)軇?IPA、丙酮、NMP等。
超純水輸送:
在最終清洗、晶圓沖洗等環(huán)節(jié)輸送UPW。
工藝氣體輸送:輸送高純工藝氣體(惰性氣體、反應(yīng)氣體等),尤其是需要高潔凈度和耐腐蝕性的區(qū)域。
化學(xué)機(jī)械研磨系統(tǒng):研磨液供應(yīng)管路、研磨后清洗水管路.
濕法工藝設(shè)備: 濕法刻蝕臺、清洗機(jī)內(nèi)部的流體管路、噴淋管、浸漬槽循環(huán)管路等。
分析采樣系統(tǒng):連接在線化學(xué)濃度監(jiān)測儀的采樣管線,要求無污染、低吸附。
株洲宏大作為專業(yè)的氟塑料生產(chǎn)廠家,擁有千級半導(dǎo)體無塵車間,引進(jìn)國際先進(jìn)的PFA管擠出設(shè)備,采用大金,科慕的正品PFA原料,擁有高精度的溫度控制系統(tǒng)和穩(wěn)定的擠出速度,能夠確保PFA管在擠出過程中的性能穩(wěn)定性及尺寸精準(zhǔn)度,有通過SEMI-57認(rèn)證,為半導(dǎo)體行業(yè)提供高品質(zhì)的PFA產(chǎn)品,助力半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)穩(wěn)健發(fā)展及國產(chǎn)化替代。
